ウエハガイド
材質 | PEEK ビクトレックスピーク |
充填材配合率 | CF30 |
難燃性 | V-0 |
製品重量(g) | 2.00 |
業界 | 半導体製造装置 |
詳細説明
こちらは半導体製造装置部品(ウエハガイド)です。
従来、他社でPEEK(炭素繊維強化)の切削品を調達していたものを、量産性・コストの観点から、射出成形に切り替えるご相談をいただきました。
サイズは22×9.8mmと小型ながら、寸法公差±0.05mm、さらに150Rの公差レンジがわずか0.1mmという厳しい要求を満たす必要がありました。これを可能にするため、金型温度を200℃に設定し、ゲートサイズを拡大するなど、精密な成形条件を採用したことにより、極めて微細な形状と高精度な仕上がりを実現しています。