半導体製造装置部品 超音波洗浄対応
| 材質 | PEEK ビクトレックスピーク |
| 難燃性 | V-0 |
| 製品重量（g） | 8.50 |
| 業界 | 半導体製造装置 |
詳細説明
こちらは、半導体製造装置部品（レチクルパッド）です。大手半導体製造装置メーカーからご依頼をいただいた事例です。
本製品の上部を基板が通過することから、強度・耐摩耗性・寸法安定性が求められたため、PEEKの炭素繊維強化グレードを使用しています。また、全長が160mmと長く、反りの発生リスクがあり、寸法安定性を成形工程のみで制御することが難しかたっため、矯正することで要求寸法を実現しています。
さらに本製品は半導体製造装置部品として、極めて高いクリーン度が求められることから、成形後に超音波洗浄を施し、個別包装で納品しています。
