半導体製造装置部品（レチクルパッド）
| 材質 | PEEK ビクトレックスピーク |
| 充填材配合率 | CF30 |
| 難燃性 | V-0 |
| 製品重量（g） | 10.60 |
| 業界 | 半導体製造装置 |
詳細説明
こちらは、半導体製造装置部品（レチクルパッド）です。大手半導体製造装置メーカーからご依頼をいただいた事例です。
本製品は上部を基板が通過することから、強度、耐摩耗性、そして高い寸法安定性が求められました。これらの厳しい要求に応えるため、PEEKの炭素繊維強化グレードを採用しています。
また、全長が160mmと長く、反りの発生リスクがあり、寸法安定性を成形工程のみで制御することが難しかったため、矯正することで要求寸法を実現しています。
